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渦輪分子泵的運(yùn)用

發(fā)布時(shí)間:2017年03月07日 09:55   閱讀:4520   返回   來源:澤德
  渦輪分子泵正常工作需要小于10Pa的前置壓強(qiáng),可用旋片式機(jī)械泵作為前級泵。渦輪分子泵有一專用的中頻電源,對泵內(nèi)的電動機(jī)供電,接通中頻電源后,幾分鐘內(nèi)可使泵的轉(zhuǎn)速到達(dá)額定值。泵的額定轉(zhuǎn)速因型號而異,一般在30000~50000r/min內(nèi)。立式泵需要垂直放置,泵內(nèi)承受高速旋轉(zhuǎn)的軸承,需要通以冷卻水冷卻。近年來出現(xiàn)了不使用水冷而使用風(fēng)冷、且可以水平放置的立式渦輪分子泵,使用更方便。
  為達(dá)到分子泵的極限真空,應(yīng)對被抽容器和泵體進(jìn)行烘烤。因泵內(nèi)的級間連接部分是用橡膠密封的,故泵體的烘烤溫度不能太高,為100~120℃。真空系統(tǒng)充分除氣后可得到10-6~10-7Pa的極限壓強(qiáng)。
  渦輪分子泵對分子相對質(zhì)量大的氣體壓縮比大,故極限真空主要決定于分子相對質(zhì)量小的氣體成分,如H2、He等。此外,容器及泵體放出的水汽也是影響極限真空的重要因素。
  由于具有高速旋轉(zhuǎn)的部件,渦輪分子泵不能在磁場下運(yùn)用,因?yàn)檫@會產(chǎn)生渦流導(dǎo)致發(fā)熱、葉片變形等效果。
  渦輪分子泵內(nèi)各輪葉之間、動輪葉與泵壁之間的空隙都只在1mm左右,因此工作時(shí)應(yīng)嚴(yán)格防止異物進(jìn)人泵內(nèi),避免高速旋轉(zhuǎn)的鋁制葉片被打壞。
 

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