渦輪分子真空泵的工作原理及應(yīng)用
發(fā)布時(shí)間:2017年03月11日 09:15 閱讀:5012
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澤德
渦輪分子真空泵是一種對(duì)各種氣體的抽速差別不大的真空泵。它由一系列高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)片和固定的靜片組成,動(dòng)片和靜片構(gòu)成相間排列。氣體分子與高速旋轉(zhuǎn)動(dòng)片相碰撞,就可獲得沿運(yùn)動(dòng)表面方向的速度分量,通過(guò)系列動(dòng)片和靜片的組合,使氣體分子沿一定方向運(yùn)動(dòng),從而產(chǎn)生抽氣效果和壓縮氣體作用。渦輪分子泵的壓縮比與氣體分子量的平方根成正比關(guān)系,由于碳?xì)浠衔锏姆肿恿枯^大,因此對(duì)碳?xì)浠衔锞哂袃艋饔谩3闅馑俾蕪臄?shù)十升每秒到幾千升每秒,安裝方式有垂直式和臥式。渦輪分子泵通常選擇幾何尺寸不同的動(dòng)片和靜片組成三個(gè)抽氣段,即高、中、低抽氣段。高段對(duì)葉列片的參數(shù)選擇主要是為了提高抽氣速率,低段對(duì)葉列片的參數(shù)選擇則主要考慮提高壓縮比,而中段是過(guò)渡階段,要統(tǒng)籌兼顧考慮過(guò)渡過(guò)程以達(dá)到合理匹配。
渦輪分子泵通常選用中頻電機(jī),因此要采用中頻電源來(lái)驅(qū)動(dòng)。由于旋轉(zhuǎn)動(dòng)片需要高速運(yùn)轉(zhuǎn),旋轉(zhuǎn)動(dòng)片的軸承就需潤(rùn)滑劑來(lái)潤(rùn)滑以達(dá)到延長(zhǎng)使用壽命。渦輪分子泵需采用循環(huán)水冷卻。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,高性能磁懸浮渦輪分子泵的產(chǎn)品不斷涌現(xiàn),但由于價(jià)格昂貴,安裝條件苛刻,只能在特殊設(shè)備中采用。因此,目前電子束曝光機(jī)超真空的獲得仍然采用常規(guī)的渦輪分子泵。
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